1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0,即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。
2.检查真空表是不是出现了问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。(2)分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
3.分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
4.氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后,如果灯丝仍不能发射离子流,则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁,请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路,请更换灯丝。如果没有,请检查端子是否与其他连接器连接,以消除短路。
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