在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，一些管道等连接处可能存在肉眼无法察觉的小孔，使用时会导致泄漏和事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重要。下面我们一同了解高纯气体管道是怎么使用氦质谱检漏仪测试的，内容仅供参考，如有遗漏欢迎指正交流。
高纯气体管道工程系统应用领域
项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、研究所、标准测试等高科技行业。
气体管道的五项测试是QC中ZUI重要的一部分，这五项测试分别是：保压测试、氦气检漏测试（氦检）、水分测试、氧分测试和颗粒测试，确保气体管道系统的品质达到一定的水准和满足客户的需求。我们今天要了解的就是氦质谱检漏测试的步骤和氦检漏方法。
一、测试前准备
1. 系统成功的的通过了保压检漏。
2. 确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。
3. 先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。
4. 氦质谱检漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。
5. 缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。
6. 对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。
二、测试方法
1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。
2. 确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。
3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。
4. 记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。
5. 从ZUI靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到ZUI后一个焊道或连接处。
6. 如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。
7. 直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。
8. 如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。
9. 将检漏仪与系统分开。
诺益科技提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用.满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.
以上是对气体管道工程中氦泄漏检测（氦检测）的简要介绍。氦检测对于输送气体的气体管道系统工程至关重要。谢谢阅读，欢迎交流(#^.^#)
