错误代码 | 含义 | 原因 | 检查排除 |
10 | 标漏时重复抽空次数过多 | 1：检漏口压力抽不下，检漏口未接好或者漏孔故障。 2：V2阀没打开或打开不完全。 | 1：检查检漏口大漏，检测漏孔 2：检查V2阀 |
16 | 启动超时 | 分子泵无法正常加电。 | 检查分子泵 |
20 | 阳极高压错误 | 灯板检测离子源阳极电压错误 | 检修阳极供电、离子源电缆、灯丝板 |
21 | 发射电流低 | 灯板检测离子源发射电流低 | 按停止键，重新启动 |
22 | 发射电流高 | 灯板检测离子源发射电流高 | 按停止键，重新启动 |
23 | 灯板24V故障 | 灯板24V电压异常 | 检修灯板 |
24 | 80V电压故障 | 灯板80V电压异常 | 检修灯板 |
26 | 分子泵未就绪 | 分子泵没有启动完成 | 检查前级真空、分子泵自身判断 |
27 | 分子泵通讯故障 | 主控板没有检测到分子泵通讯 | 检修通讯线路、主控板 |
36 | 分子泵通讯超时 | 主控板长时间没有检测到分子泵通讯 | 检修通讯线路、主控板 |
36 | 分子泵转速过低 | 分子泵转速没有达到正常工作转速 | 检查分子泵电源和连线 |
37 | 分子泵故障 | 分子泵损坏或电源异常 | 检查分子泵电源和连线 |
38 | 分子泵警告 | 分子泵过热 | 检查检漏口真空度是否过高。 |
39 | 分子泵排气口压力高 | 前级泵和真空管路真空异常 | 检查机械泵是否工作和真空管路 |
40 | 待机时，分子泵排气口压力高 | 待机时前级泵和真空管路真空异常 | 检查机械泵是否工作和真空管路 |
告警代码 | 含义 | 原因 | 检查排除 |
1 | 吸枪模式定标时,本底值低 | 定标时采集本底值低 | 吸枪是否有堵 |
2 | 吸枪模式定标时,信号值低 | 环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。 | 等待环境中本底下降后再标漏，或告知生产商 |
3 | 吸枪定标异常 | 环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。 | 等待环境中本底下降后再标漏，或告知生产商 |
6 | 检漏时分子泵排气口异常 | 电磁阀内漏或检漏口真空度差 | 检查检漏口连接真空管路。 |
9 | 大漏保护 | 检漏口真空度突然变大 | 检查检漏口真空管路是否异常 |
10 | 抽空超时 | 检漏口真空度抽不下来 | 检查检漏口真空管路是否封堵 |
11 | 吸枪堵 | 请检查吸枪过滤器 | 查看检漏口压力是否异常 |
12 | 吸枪漏 | 请检查检漏口进入检漏状态后检漏口压力是否>300pa | 查看检漏口压力是否异常 |
