真空箱氦检和RGA残余气体分析（Residual Gas Analysis）是两种常用的真空系统检测方法，它们在原理和应用上有一些区别。残余气体分析Residual Gas Analysis，简称RGA，也称做内部水汽分析Internal Moisture Analysis ，或者IVA(Internal Vapor Analysis)。
原理：
真空箱氦检：真空箱氦检是通过将待检测物体放置在真空箱中，注入氦气并进行泄漏检测。如果存在泄漏，氦气会从泄漏处逸出，并被氦检仪器探测到。
真空箱氦检
RGA：RGA是一种质谱分析技术，通过对真空系统中残余气体成分进行分析来获取相关信息。RGA仪器会将真空系统中的气体离子化，并根据气体离子的质量-电荷比进行分析和检测。
应用：
真空箱氦检：真空箱氦检主要用于检测焊接接头、密封件等在真空环境下的泄漏情况。它广泛应用于航空航天、电子器件、光学设备等领域。
RGA：RGA主要用于分析真空系统中的气体成分，可以检测和分析气体的种类、含量以及可能的污染源。它在半导体制造、材料研究、真空设备维护等领域得到广泛应用。
检测范围：
真空箱氦检：真空箱氦检主要关注泄漏问题，能够检测微小的泄漏缺陷或裂纹。
RGA：RGA可以分析和检测真空系统中的各种气体成分，包括常见气体、水蒸气、有机物质等。
综上所述，真空箱氦检和RGA在原理和应用上存在一些区别。真空箱氦检主要用于检测泄漏问题，而RGA则是通过分析真空系统中的气体成分来获取相关信息。两种方法在不同领域具有各自的应用价值。
