在高压电器行业中，生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件中提出了产品符合技术条件和安全性的要求。高压开关设备使用SF6气体作为绝缘灭弧的介质，因此产品要求开关内部的SF6气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。

为了保证产品的安全可靠性，在生产过程中需要对部件以及出厂整机进行检漏。传统的卤素检漏仪检漏方法灵敏度低，容易发生泄漏和误检，导致产品气密性达不到要求，采用氦质谱检漏仪可以弥补这些不足，同时可以检漏漏点和漏率。

电力行业环氧绝缘件氦质谱检漏

氦质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一旦增大，就说明工件不合格。

高压电器的氦质谱检漏方法，根据被检工件的情况而定

背压法

对于体积较大的工件，采用背压法，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。

背压法

先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过指定值即为不合格。

吸入法

对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

吸入法

安徽诺益科技有限公司是一家专业从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱及回收系统的研发、生产及销售为一体的专业型高科技企业。

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