没有任何一个真空设备或系统可以做到绝对的真空密封，其实也不需要做到。一个不争的事实是，泄漏率应该足够低，以便所需的工作压力、气体平衡和真空容器中的极限压力不会受到过度影响。就HV、UHV和XHV而言，检测小于10^-7mbar·L/s的漏率的唯一可靠方法就是使用氦质谱检漏仪。漏孔直径当量为10^-12mbar·L/s也是氦分子的直径，是可以检测到的ZUI小漏率。这种与氦气的关系，是采用氦气作为示踪气体、并且使用质谱仪进行分析/测量的原因之一，也是这种方法为ZUI准确和快速的检漏方法的原因之一。
氦质谱检漏仪的工作原理如下：
采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器仅对示踪气体氦气有响应信号，一旦出现信号响应，就说明有氦气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。氦质谱检漏仪是目前通行的ZUI灵敏、性能ZUI好、使用ZUI广泛的检漏装置。
至于如何用氦气进行检漏，在实际中有两种方法：“整体”检测法要求将被检件置于密闭装置内；而“局部”检测法则是在被检件内部用氦气加压或在内部排空氦气。在这两种检测方法中，氦气都是通过可能的漏孔钻出，然后进入质谱仪进行分析的。
不过，用氦作为示踪气体也有一些不足之处，例如：橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦，然后还会在吸收后慢慢释放出来；所有的离子收集极，对氦都会产生记忆效应，即氦离子打到离子收集极上，并贮存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底和噪声。
那么高真空（HV）氦质谱检漏仪厂家哪家好呢？
要找有实力的氦质谱检漏仪生产厂家，必须要综合评定，因素包括：企业规模、发展历史、品牌实力、资金实力、生产能力、产品质量、施工能力以及售后服务能力。
安徽诺益科技提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 广泛应用于航空航天、制冷及相关配套、汽车制造、动力电池、核工业、真空系统、生物化学、环境保护、食品发酵、石油加工、有机化学、中西药物、科学研究等领域。氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.
