真空镀膜设备中用于残余气体分析的质谱仪可以用H₂、He、Ar等作为示踪气体进行泄漏检测，但这些泄漏检测仪的泄漏检测灵敏度不同。自20世纪40年代以来，质谱仪在泄漏检测中的应用进一步促进了泄漏检测技术的发展。
对氦质谱检漏仪的评价需要充分了解其主要性能指标。灵敏度是氦质谱检漏仪的主要参数。由于世界各国对氦质谱泄漏检测仪灵敏度的定义不一致，在中国，氦质谱泄漏检测仪的灵敏度基本上用最小可检漏率来表示。
范围在10-6 mbar I/s以下的漏率只有氦检漏仪才能精确测量到
氦质谱检漏仪的最小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个最佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的最小漏孔的漏率。
1、最佳工作条件。
指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到最佳工作状态等。
2、动态检漏。
指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；
3、最小可检。
指其信号是本底噪声的两倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。
对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，最好给出检漏装置的最小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的最小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“最小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。
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