氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器，主要由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。具有性能稳定、灵敏度高等特点。
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱仪器的主要性能指标。下面我们就来一一讲解一下：
一、灵敏度及其校准
灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。即在仪器处于正常工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。
1、所谓“动态检漏”是指进口氦质谱检漏仪本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。
2、所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。
3、如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器的可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则进口氦质谱检漏仪的浓度灵敏度。
二、反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启，当信号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。
三、工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用进口氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
