特种气体管道中有大量的工艺氢气管道，其特点是管道长度长、连接处多。 为防止氢气在运输过程中泄漏造成经济损失和安全隐患，需要对氢气管道进行氦气泄漏检测。
特种气体又称电子特种气体，是一种特殊气体。 半导体用高纯气体是一种特殊的高纯气体，用于生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品。
特气管道呢，通俗的讲就是将特气从气体钢瓶中输送到使用设备的接口处的所使用的连接管道，一般是不锈钢管道，了解的朋友可能知道不锈钢洁净管也是分级，从AP到EP，纯洁度递增，AP<MP<BA<EP。
为适合输送到管道，氢气必须纯度非常高并具有高压。通常，氢气经产生、纯化然后压缩以提供高压氢气供各种应用。一般管道都是高压的状态，如果有泄露会有很大的安全隐患，氢气本身就是属于易燃易爆气体。
使用负压喷氦法检漏。具体检测方法是：因管路较长且管径较细，将氢气管路分段密封好，然后对管路抽真空。
氢气管道中氦质谱正压嗅探法检漏的一般流程是在管道中充入一定压力（一般来说与工况压力一致）的99.99%纯氦气，或者一定比例的氦氮混合气体即可， 混合气体，节省了使用氦气的成本。 根据实际压力和体积充入氦气后，用吸枪在管道表面、管接头、焊缝等可疑泄漏处查找具体泄漏位置。 吸枪连接到氦质谱检漏仪。 如果扫描位置有泄漏，则吸枪探头会检测到氦信号，并将其传输到泄漏检测器质谱系统。 这时候会在检漏仪上检测到。 显示特定泄漏量的大小。
特种气体管道氦检漏检测规定：
1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
特种气体管道氦检漏注意事项：
氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用.公司建立了完善的售后服务体系，配备了专业的维修工程师，对客户的服务要求实行24小时响应，为产品的稳定运行提供了有力的保障。更多氦检技术，欢迎留言讨论！
