真空焊接炉抽真空时,需要真空度达到1x10-5mbar左右才能有效工作。如果不能达到真空度,或者抽速慢,可能是漏点造成的,所以真空焊接炉检漏尤为必要。
真空焊接炉主要采用泄漏检测仪负压模式,即真空模式泄漏检测,氦质谱泄漏检测仪与真空系统连接,最好连接在排气口附近(即泵组进气口),真空系统将有泵组抽真空,所以泵进气口连接氦质谱泄漏检测仪在气流方向,部分压力容易分配到氦质谱泄漏检测仪,达到泄漏检测效果。
使用氦质谱检漏仪真空模式检测真空焊接炉是业界所采用的最广泛的检测方法,真空焊接炉使用真空系统抽真空, 氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端,由于气流都会走向真空系统,如果喷氦气有漏的话,都会经过检漏仪抽气口,氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化,从而达到测量效果。
真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。
另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上,满足各种应用. 可满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 更多氦检技术,欢迎留言讨论!