由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.
阀门检漏需求
阀门的密封性能是考核阀门质量优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就要提高其密封性能, 并且在出厂前最后一道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s.
但随着客户对产品质量要求的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一.
而安徽诺益科技氦质谱检漏仪具有体积小、重量轻、内部模组化设计、检测维修方便、使用简单、一键式操作等优点受到广大客户的青睐.
通过氦气检漏仪可精确判断阀门是否有泄露
阀门氦质谱检漏仪及其氦检设备的有点在于：检测精度高且生产成本低。
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